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表面異物分析

 

有機異物分析 無機異物分析 未知異物分析 產(chǎn)品異常現(xiàn)象比對分析

 

無機異物分析是指針對產(chǎn)品表面的無機異物,根據(jù)異物的形態(tài)、檢測深度及檢測面積等差異而選用特定的儀器,對其無機成分進行分析,測定其中元素成分及含量,進而分析組成的一種分析方法。相較與有機異物,無機異物則表現(xiàn)出質(zhì)地更硬,色澤更深,且較不透光等特點。無機異物的分析手段主要有以下幾種:

 

分析手段 典型應(yīng)用 分析特點 參考標準
掃描電子顯微鏡&X射線能譜SEM/EDS 表面微觀形貌觀察;微米級尺寸量測;微區(qū)成分分析;污染物分析 能快速的對各種試樣的微區(qū)內(nèi)Be~U的大部分元素進行定性、定量分析,分析時間短 JY/T 010-1996
GB/T 17359-2012
飛行時間二次離子質(zhì)譜TOF-SIMS 有機材料和無機材料的表面微量分析;表面離子成像;深度剖面分析 優(yōu)異的摻雜劑和雜質(zhì)檢測靈敏度可以檢測到ppm或更低的濃度;深度剖析具有良好的檢測限制和深度辨析率;小面積分析 ASTM E1078-2009
ASTM E1504-2011
ASTM E1829-2009
動態(tài)二次離子質(zhì)譜D-SIMS 產(chǎn)品表面微小的異物分析;氧化膜厚度分析;摻雜元素的含量測定 分析區(qū)域小,能分析≥10μm直徑的異物成分;分析深度淺,可測量≥1nm樣品;檢出限高,一般是ppm-ppb級別 ASTM E1078-2009
ASTM E1504-2011
ASTM E1829-2009
俄歇電子能譜AES 缺陷分析;顆粒分析;深度剖面分析;薄膜成分分析 可以作表面微區(qū)的分析,并且可以從熒光屏上直接獲得俄歇元素像 GB/T 26533-2011
X射線光電子能譜XPS 有機材料、無機材料、污點、殘留物的表面分析;表面成分及化學(xué)狀態(tài)信息;深度剖面分析 分析層薄,分析元素廣,可以分析樣品表面1-12nm的元素和元素含量 GB/T 30704-2014

 

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案例分析

案件背景:

某客戶產(chǎn)品表面放大觀察后發(fā)現(xiàn)紅色異物,影響產(chǎn)品使用性能。

 

檢測手段:

SEM/EDS分析

 

檢測標準:

JY/T 010-1996    分析型掃描電子顯微鏡方法通則

GB/T 17359-2012  微束分析 能譜法定量分析

 

分析方法簡介:

1、通過顯微鏡放大觀察發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品表面存在大量紅色異物,見下圖:

 

無機異物分析

 

無機異物分析

 

2、對該異物樣品進行SEM/EDS分析,判定其它無機成分。對樣品進行剝金處理后,對樣品表面鍍Pt30s,放入SEM樣品室中,對測試位置進行放大觀察,并用EDS進行成分分析:

 

無機異物分析 無機異物分析

 

 

Spectrum C O Al K Cl Au Ca Cr Fe Cu Total
1 12.77 19.38 1.54 / 0.48 12.24 2.53 30.13 11.54 9.39 100.00
2 26.66 15.31 0.64 0.41 0.31 7.49 2.20 30.53 10.11 6.33 100.00

 

3、根據(jù)SEM/EDS測試結(jié)果可知,異物主成分為Cr的氧化物。

 

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